Influence of hydrogen on room temperature recrystallisation of electrodeposited Cu films : thermal desorption spectroscopy
Influence of hydrogen on room temperature recrystallisation of electrodeposited Cu films : thermal desorption spectroscopy
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氢对电沉积铜膜室温再结晶的影响：热解吸光谱
DOI：
10.1179/174591911x13082997023873
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Fukai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Fukumuro;T. Adachi;S. Yae;H. Matsuda;Y. Fukai
