Comparison of Thermal and ArF Excimer Laser Activation of Mg-doped GaN
Comparison of Thermal and ArF Excimer Laser Activation of Mg-doped GaN
复制标题
掺镁 GaN 的热激活和 ArF 准分子激光激活比较
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naotaka Iwata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Maria Emma Villamin;Naotaka Iwata
