送りねじ機構による位置決め精度の向上と高分解能化
送りねじ機構による位置決め精度の向上と高分解能化
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使用进给螺杆机构提高定位精度和更高的分辨率
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田茂生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Fukada;T. Mimura;H. Sato;D. Kobayashi;中村裕一・三嶋将太・土田悠生・松井正仁・今戸啓二;深田茂生
