in-situプロセスによる基板上ナノ構造の作成と評価
in-situプロセスによる基板上ナノ構造の作成と評価
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通过原位工艺在基底上创建和评估纳米结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
富成征弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中秀吉;鈴木仁;富成征弘
