T.Kimura and K.Ohe: "Probe measurements and global model of inductively-coupled Ar/CF_4 discharges"Plasma Sources Sci.Technol.. 8. 553-560 (1999)
T.Kimura and K.Ohe: "Probe measurements and global model of inductively-coupled Ar/CF_4 discharges"Plasma Sources Sci.Technol.. 8. 553-560 (1999)
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T.Kimura 和 K.Ohe：“感应耦合 Ar/CF_4 放电的探针测量和全局模型”Plasma Sources Sci.Technol.. 8. 553-560 (1999)
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