M.Shimozuma: "Diagnostics of H_2+CH_4 plasma for chemical vapor deposition by optical spectroscopy" Journal of Applied Physics. 67. (1991)
M.Shimozuma: "Diagnostics of H_2+CH_4 plasma for chemical vapor deposition by optical spectroscopy" Journal of Applied Physics. 67. (1991)
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M.Shimozuma：“通过光谱诊断化学气相沉积的 H_2 CH_4 等离子体”应用物理学杂志。
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