Contact-free Two Dimensional Precise Micro Positioning by using Diamagnetic Graphite
Contact-free Two Dimensional Precise Micro Positioning by using Diamagnetic Graphite
复制标题
利用抗磁性石墨实现无接触二维精密微定位
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Haruhiko SUZUKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryosuke SAITO;Kazuto ITATSU;Minoru KANKE;Atsushi ITO;Haruhiko SUZUKI
