低速AMOC測定による有機シリカCVD膜の細孔構造
低速AMOC測定による有機シリカCVD膜の細孔構造
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低速AMOC测量测量有机二氧化硅CVD薄膜的孔结构
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤 賢志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
土田 秀次;岡 壽崇;大島 永康;オローク ブライアン;伊藤 賢志;伊藤 賢志
