New leak element using sintered stainless steel filter for in-situ calibration of ionization gauges and quadrupole mass spectrometers
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DOI：
10.1016/j.vacuum.2011.02.013
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发表时间：
2012-02
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
H. Yoshida;K. Arai;M. Hirata;H. Akimichi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yoshida;K. Arai;M. Hirata;H. Akimichi
