MEMSを用いたナノ摩擦試験のリアルタイム界面観察と特性評価

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利用MEMS进行纳米摩擦测试的实时界面观察和特性评估

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石田忠
石田忠
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Yanagisawa H.;Takatsuji K.;平川鉄磨;細川翔平,片平卓志,上森武,中哲夫,高津正秀,足立大樹,吉田総仁;石田忠

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