大谷吉生: "パルスエアジェットによるウエハ表面からの微粒子の除去" 化学工学論文集. 19. 114-119 (1993)
大谷吉生: "パルスエアジェットによるウエハ表面からの微粒子の除去" 化学工学論文集. 19. 114-119 (1993)
复制标题
Yoshio Otani：“通过脉冲空气喷射去除晶片表面的细颗粒”《化学工程杂志》19. 114-119 (1993)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
