Atomic processes in the LPP and LA-DPP EUV sources

Atomic processes in the LPP and LA-DPP EUV sources
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LPP 和 LA-DPP EUV 光源中的原子过程

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
Procedings. SPIE, Alternative Lithographic Technologies 7271
影响因子:
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通讯作者:
F.Koike
F.Koike
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A.Sasaki;K.Nishihara;A.Sunahara;H.Furukawa;T.Nishikawa;F.Koike

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