On-Chip MEMSアクチュエータ駆動のためのMEMS後加工5V標準CMOS素子を利用した30Vスイッチング回路(口頭発表)
On-Chip MEMSアクチュエータ駆動のためのMEMS後加工5V標準CMOS素子を利用した30Vスイッチング回路(口頭発表)
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使用 MEMS 后处理 5V 标准 CMOS 元件驱动片上 MEMS 执行器的 30V 开关电路（口头演示）
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡本有貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ueda;H. Itou and H. Asano;岡本有貴
