高分子膜を介した半導体デバイス内部の超音波可視化

高分子膜を介した半導体デバイス内部の超音波可視化
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通过聚合物膜实现半导体器件内部的超声波可视化

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
(社)日本機械学会M&M2004材料力学カンファレンス講演論文集 04-6
影响因子:
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通讯作者:
(坂 真澄)
(坂 真澄)
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
燈明 泰成;(坂 真澄)

文献摘要

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