GaInAsP Wire Waveguides on Si Substrate Formed by Wafer Bonding with Benzocyclobutene
GaInAsP Wire Waveguides on Si Substrate Formed by Wafer Bonding with Benzocyclobutene
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通过苯并环丁烯晶圆键合在硅衬底上形成 GaInAsP 线波导
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Maeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Inoue;S. Yokoyama;Y.Maeda
