Flow Effects on the Morphology of Silicon Materials Produced in a Gas Phase Reaction of SiCl<sub>4</sub>
Flow Effects on the Morphology of Silicon Materials Produced in a Gas Phase Reaction of SiCl<sub>4</sub>
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流动对 SiCl<sub>4</sub> 气相反应硅材料形貌的影响
DOI：
10.1252/iches.2022.006
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
INASAWA Susumu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷河怜;佐伯大輔;奥村幸久;INASAWA Susumu
