Effect of Recoiled Oxygen on Characteristics of ITO Films Deposited by Ion Beam Sputtering

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反冲氧对离子束溅射ITO薄膜特性的影响

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Transactions of the Materials Research Society of Japan 29-4
影响因子：
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通讯作者：
S.Iwatsubo
S.Iwatsubo
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Matsuda;S.Iwatsubo

文献摘要

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