CNP 層を挿入した a-C:H 膜の応力低減に対する CNP 被覆率の効果
CNP 層を挿入した a-C:H 膜の応力低減に対する CNP 被覆率の効果
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CNP覆盖率对插入CNP层的a-C:H薄膜应力降低的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshikawa Daichi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Daichi Iijima;Atsushi Kobayashi;Gen Morimoto;Masami Hasegawa;Seiya Abe & Masashi Murakami;Yoshikawa Daichi
