反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果
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用于反应处理等离子体中电子密度测量的扁平微波谐振器探头和鞘层效应
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅井秀郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村圭二;張祺;菅井秀郎
