Y.Takamura, K.Hayasaki, K.Terashima, T.Yoshida: "Claster size measurement using microtrench method in a thermal plasma flash evaporation process." J.Vac.Sci.Technol.B. Vol15,N3. 558-565 (1997)
Y.Takamura, K.Hayasaki, K.Terashima, T.Yoshida: "Claster size measurement using microtrench method in a thermal plasma flash evaporation process." J.Vac.Sci.Technol.B. Vol15,N3. 558-565 (1997)
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Y.Takamura、K.Hayasaki、K.Terashima、T.Yoshida：“在热等离子体闪蒸工艺中使用微沟槽方法测量碎石尺寸。”
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