Kikuo Tominaga: "Preparation of AlN Films by Planar Magnetron Sputtering System with Facing Tow Targets" Vacuum IVC-II Proceedings. (1990)
Kikuo Tominaga: "Preparation of AlN Films by Planar Magnetron Sputtering System with Facing Tow Targets" Vacuum IVC-II Proceedings. (1990)
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Kikuo Tominaga：“通过面向两个靶材的平面磁控溅射系统制备 AlN 薄膜”真空 IVC-II 论文集。
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