AR-XPSによる4H-SiC (0001)の初期熱酸化過程の研究
AR-XPSによる4H-SiC (0001)の初期熱酸化過程の研究
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AR-XPS研究4H-SiC(0001)的初始热氧化过程
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野平 博司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒井 仁;野平 博司
