Semiconductor Wafer Floating System for High Vacuum Chamber Using an Ionic Liquid
Semiconductor Wafer Floating System for High Vacuum Chamber Using an Ionic Liquid
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使用离子液体的高真空室半导体晶圆浮动系统
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kei Somaya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takao Okabe;Kei Somaya
