ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製

ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製
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靶材加热高速溅射沉积法制备热电厚膜

DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
Proceedings of the 27th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System
影响因子：
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通讯作者：
溝尻瑞枝
溝尻瑞枝
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M. Mizoshiri;M. Mikami;K. Ozaki;K. Kobayashi;溝尻瑞枝

文献摘要

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