反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
反射・透過型エリプソメトリーによる薄膜厚計測
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使用反射/透射椭圆光度法测量薄膜厚度
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金 蓮花，茂木 壮太，村中 司，近藤 英一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koichi Ichige;金 蓮花，茂木 壮太，村中 司，近藤 英一
