ZrN 膜上に成膜したCu(111)優先配向

ZrN 膜上に成膜したCu(111)優先配向
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ZrN薄膜上Cu(111)择优取向沉积

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
武山 真弓
武山 真弓
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
佐藤 勝;安田 光伸;武山 真弓

文献摘要

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