マグネトロンスパッタリングを用いたhBNナノシートの合成及び構造評価
マグネトロンスパッタリングを用いたhBNナノシートの合成及び構造評価
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磁控溅射六方氮化硼纳米片的合成和结构评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉井寛太;吉里樹人;平田祐樹;赤坂大樹;大竹尚登
