C-Si-O系薄膜のトライボロジー特性
C-Si-O系薄膜のトライボロジー特性
复制标题
C-Si-O薄膜的摩擦学性能
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡部修一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
ナッタナン ムルスラドゥ;安部慎也;渡部修一
