RFマグネトロンスパッタリング法によるアモルファス窒化炭素薄膜の合成
RFマグネトロンスパッタリング法によるアモルファス窒化炭素薄膜の合成
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射频磁控溅射法合成非晶氮化碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
比嘉晃
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長岡康仁;山里将朗;比嘉晃
