Experimental Study of Effect of Rare Gas Admixture on Temperatures of Microwave-Excited Oxygen Discharge Plasma;

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稀有气体混合物对微波激发氧气放电等离子体温度影响的实验研究

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys., 45[1A]
影响因子:
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通讯作者:
H.Akatsuka
H.Akatsuka
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T.Sakamoto;K.Naoi;H.Matsuura;H.Akatsuka

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