ナノクラスター支援メゾプラズマCVDによるパターン基板上高速単結晶Si厚膜堆積技術
ナノクラスター支援メゾプラズマCVDによるパターン基板上高速単結晶Si厚膜堆積技術
复制标题
使用纳米团簇辅助中间等离子体CVD在图案化基底上高速单晶硅厚膜沉积技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Yoshida
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
L.W.Chen;M.Kambara;T.Yoshida
