Microplasma Sources for Surface Engineering : Design and Characteristics
Microplasma Sources for Surface Engineering : Design and Characteristics
复制标题
用于表面工程的微等离子体源:设计和特性
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Tachibana
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Fukuzaki;S.;Y.Sekine;H.Genda;S.Sugita;T.Kadono;T.Matsui;K. Tachibana