IR spectroscopic study of film deposition process during acetylene plasma
IR spectroscopic study of film deposition process during acetylene plasma
复制标题
乙炔等离子体薄膜沉积过程的红外光谱研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中 諭志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中居 辰夫;桒田 篤哉;佐々本 凌;篠原 正典;松本 貴士;田中 諭志
