Analysis of organic contaminants on Si wafers with TXRF-NEXAFS
Analysis of organic contaminants on Si wafers with TXRF-NEXAFS
复制标题
使用 TXRF-NEXAFS 分析硅片上的有机污染物
DOI：
--
复制
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Wobrauschek
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
G. Pepponi;B. Beckhoff;T. Ehmann;G. Ulm;C. Streli;L. Fábry;S. Pahlke;P. Wobrauschek
