マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #2
マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #2
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通过镁诱导结晶(Mg-MIC)低温合成多晶硅薄膜2
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
南 亮輔,梨岡岳斗,春山敦史,池畑 隆,佐藤直幸,鵜殿治彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
池畑隆;小﨑匡史;岩田浩輔;佐藤直幸;小崎匡史,池畑 隆,佐藤直幸,岩田浩輔;南 亮輔,梨岡岳斗,春山敦史,池畑 隆,佐藤直幸,鵜殿治彦