石丸和博: "方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応のシリコン酸化膜CVDへの応用" 第34回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 34-II. 397-398 (1997)
石丸和博: "方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応のシリコン酸化膜CVDへの応用" 第34回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 34-II. 397-398 (1997)
复制标题
Kazuhiro Ishimaru：“使用方波脉冲无声放电的非平衡等离子体化学反应在氧化硅薄膜CVD中的应用”第34届日本传热研讨会论文集34-II（1997）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
