Deposition and Characterization of Segment-structured Tetrahedral Amorphous Carbon Films
Deposition and Characterization of Segment-structured Tetrahedral Amorphous Carbon Films
复制标题
段结构四面体非晶碳薄膜的沉积与表征
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naoto Ohtake
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田口哲志;水田亮;伊藤典明;吉澤恵子他;Naoto Ohtake
