RFマグネトロンスパッタによるBaTiO3薄膜創製条件探索
RFマグネトロンスパッタによるBaTiO3薄膜創製条件探索
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寻找射频磁控溅射制备BaTiO3薄膜的条件
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡本憲明,黄輝心,森田有亮,仲町英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hwang H.;Morita Y.;Nakamachi E.;仲町英治;岡本憲明,黄輝心,森田有亮,仲町英治
