Prospects for electron beam aberration correction using sculpted phase masks.

Prospects for electron beam aberration correction using sculpted phase masks.
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使用雕刻相位掩模进行电子束像差校正的前景。

DOI:
10.1016/j.ultramic.2016.02.002
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
2.2
通讯作者:
A. Arie
A. Arie
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
R. Shiloh;R. Remez;A. Arie

文献摘要

参考文献

被引文献

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Manuel Dries;S. Hettler;T. Schulze;W. Send;E. Müller;R. Schneider;D. Gerthsen;Yuansu Luo;K. Samwer
通讯作者: Manuel Dries;S. Hettler;T. Schulze;W. Send;E. Müller;R. Schneider;D. Gerthsen;Yuansu Luo;K. Samwer
DOI: 10.1007/978-3-319-26651-0_3
发表时间: 2016
期刊: --
影响因子: --
作者:
Burke M
通讯作者: Burke M