一种垂直递变流速氢化物气相外延(HVPE)反应腔流场分析及大尺寸材料生长
一种垂直递变流速氢化物气相外延(HVPE)反应腔流场分析及大尺寸材料生长
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DOI：
10.13385/j.cnki.vacuum
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杨少延
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李成明;苏 宁;李 琳;姚威振;杨少延
