Yukio Watanabe: "Contribution of short lifetime radicals to growth of particles in SiH_4 HF discharges and effects of particles on deposited films" J.Vac.Sci.Technol.A. 14,3. 995-1001 (1996)
Yukio Watanabe: "Contribution of short lifetime radicals to growth of particles in SiH_4 HF discharges and effects of particles on deposited films" J.Vac.Sci.Technol.A. 14,3. 995-1001 (1996)
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Yukio Watanabe：“短寿命自由基对 SiH_4 HF 放电中颗粒生长的贡献以及颗粒对沉积薄膜的影响”J.Vac.Sci.Technol.A。
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