Y.Tokuda: "Study of shallow donor formation in hydrogen-implanted n-type sillicon"Semicond.Sci.Technol.. 13・2. 194-199 (1998)
Y.Tokuda: "Study of shallow donor formation in hydrogen-implanted n-type sillicon"Semicond.Sci.Technol.. 13・2. 194-199 (1998)
复制标题
Y.Tokuda：“氢注入n型硅中浅施主形成的研究”Semicond.Sci.Technol.. 13・2（1998）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
