Effects of the Surface Condition of the Substrates on the Electrical Characteristics of 4H-SiC MOSFETs

Effects of the Surface Condition of the Substrates on the Electrical Characteristics of 4H-SiC MOSFETs
复制标题

衬底表面状况对 4H-SiC MOSFET 电特性的影响

DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
Materials Science Forum 615-617
影响因子:
--
通讯作者:
O.Eryu
O.Eryu
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T.Ohshima;S.Onoda;T.Kamada;K.Hotta;K.Kawata;O.Eryu

文献摘要

相似文献