Growth of (100)-oriented NbN thin films on Silicon substrate using TiN buffer layer
Growth of (100)-oriented NbN thin films on Silicon substrate using TiN buffer layer
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使用 TiN 缓冲层在硅衬底上生长 (100) 取向 NbN 薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鵜澤佳徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
牧瀬圭正;寺井弘高;鵜澤佳徳
