斉藤秀俊,弘津禎彦,一ノ瀬幸雄: "熱活性型RFプラズマcVD法によるBN膜の生成条件" 日本金属学会誌. 54. 186-192 (1990)
斉藤秀俊,弘津禎彦,一ノ瀬幸雄: "熱活性型RFプラズマcVD法によるBN膜の生成条件" 日本金属学会誌. 54. 186-192 (1990)
复制标题
Hidetoshi Saito、Yoshihiko Hirotsu、Yukio Ichinose:“通过热激活 RF 等离子体 CVD 方法形成 BN 膜的条件”日本金属学会杂志 54. 186-192 (1990)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: