真空蒸着法によるMOSキャパシタの作製
真空蒸着法によるMOSキャパシタの作製
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真空蒸镀法制作MOS电容器
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田猛，岡本浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hidaka Atsuki;Takeshita Akinobu;Ogawa Kohei;Imamura Tatsuya;Takano Kota;Okuda Kazuya;Matsuura Hideharu;Ji Shi Yang;Eto Kazuma;Mitani Takeshi;Kojima Kazutoshi;Kato Tomohisa;Yoshida Sadafumi;Okumura Hajime;佐藤翔，忻欣，泉晋作;前田猛，岡本浩
