ポリシリコン薄膜微小素子の曲げ負荷による機械的特性評価
ポリシリコン薄膜微小素子の曲げ負荷による機械的特性評価
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弯曲载荷评价多晶硅薄膜微元件的机械性能
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
箕島弘二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中和人;田中和人;箕島弘二
