Effect of Hydrogen Radical Treatment on Si Surface Passivated by O_3-Base ALD AlO_x
Effect of Hydrogen Radical Treatment on Si Surface Passivated by O_3-Base ALD AlO_x
复制标题
氢自由基处理对O_3基ALD AlO_x钝化Si表面的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他9名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Ikeno;他9名
