H.Takao: "Three dimensional vectro accelerometer using SOI structure for high temperature" Pro. of the 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actators. 683-686 (1995)
H.Takao: "Three dimensional vectro accelerometer using SOI structure for high temperature" Pro. of the 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actators. 683-686 (1995)
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H.Takao：“采用 SOI 结构的高温三维矢量加速度计”Pro。
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