E.Kondoh, K.Kato: "Characteristics of copper deposition in a supercritical C02 fluid"Microelectronic Engineering. 64. 295 (2002)
E.Kondoh, K.Kato: "Characteristics of copper deposition in a supercritical C02 fluid"Microelectronic Engineering. 64. 295 (2002)
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E.Kondoh、K.Kato：“超临界CO 2 流体中铜沉积的特性”微电子工程。
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